Dispositif et procédé d’identification d’une contamination gazeuse - Archive ouverte HAL

Documentation
Français (FR)

Anglais (EN)

Brevet Année : 2020

Dispositif et procédé d’identification d’une contamination gazeuse

(1) , (2) , (2) , (2) , (2) , (1)

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2

Luis Iglesias Hernandez

Fonction : Auteur

Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Dominique Certon

Fonction : Auteur
PersonId : 20955
IdHAL : dominique-certon
ORCID : 0000-0001-5963-7119
IdRef : 13681803X

GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)

Jean-François Michaud

Fonction : Auteur
PersonId : 17626
IdHAL : jean-francois-michaud
ORCID : 0000-0002-7441-8982
IdRef : 084441380

GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)

Priyadarshini Shanmugam

Fonction : Auteur

GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)

Laurent Colin

Fonction : Auteur

GREMAN (matériaux, microélectronique, acoustique et nanotechnologies)

Isabelle Dufour

Fonction : Auteur
PersonId : 174078
IdHAL : isabelle-dufour
ORCID : 0000-0002-1986-1463
IdRef : 069722633

Laboratoire de l'intégration, du matériau au système

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Isabelle Dufour : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02978837

Soumis le : lundi 26 octobre 2020-18:05:14

Dernière modification le : mardi 17 septembre 2024-18:28:03

Dates et versions

hal-02978837 , version 1 (26-10-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02978837 , version 1

Citer

Luis Iglesias Hernandez, Dominique Certon, Jean-François Michaud, Priyadarshini Shanmugam, Laurent Colin, et al.. Dispositif et procédé d’identification d’une contamination gazeuse. France, N° de brevet: FR2009223. 2020. ⟨hal-02978837⟩

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