Modelling and analysis of the stress distribution in a multi-thin film system Pt/USG/Si - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Materials Research Express Année : 2018

Modelling and analysis of the stress distribution in a multi-thin film system Pt/USG/Si

Wei-Zhen Yao
  • Fonction : Auteur
Mécanique des Matériaux et Procédés
F Roqueta
  • Fonction : Auteur
STMicroelectronics [Tours]
J Craveur
  • Fonction : Auteur
S Belhenini
  • Fonction : Auteur
P Gardes
  • Fonction : Auteur
Abdellah Tougui
  • Fonction : Auteur
Mécanique des Matériaux et Procédés

Domaines

Matériaux et structures en mécanique [physics.class-ph] Mécanique des matériaux [physics.class-ph] Mécanique des solides [physics.class-ph] Mécanique des structures [physics.class-ph]

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https://hal.science/hal-02972471

Soumis le : mardi 20 octobre 2020-14:03:15

Dernière modification le : mercredi 11 septembre 2024-14:10:03

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Dates et versions

hal-02972471 , version 1 (20-10-2020)

Identifiants

Citer

Wei-Zhen Yao, F Roqueta, J Craveur, S Belhenini, P Gardes, et al.. Modelling and analysis of the stress distribution in a multi-thin film system Pt/USG/Si. Materials Research Express, 2018, 5 (4), pp.046405. ⟨10.1088/2053-1591/aaba4b⟩. ⟨hal-02972471⟩

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