Article Dans Une Revue
Materials Research Express
Année : 2018
Stéphane Méo : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02972471
Soumis le : mardi 20 octobre 2020-14:03:15
Dernière modification le : mercredi 11 septembre 2024-14:10:03
Citer
Wei-Zhen Yao, F Roqueta, J Craveur, S Belhenini, P Gardes, et al.. Modelling and analysis of the stress distribution in a multi-thin film system Pt/USG/Si. Materials Research Express, 2018, 5 (4), pp.046405. ⟨10.1088/2053-1591/aaba4b⟩. ⟨hal-02972471⟩
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