Composition and gas permeation of PECVD membranes inside alumina substrate tubes - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2000

Composition and gas permeation of PECVD membranes inside alumina substrate tubes

Didier Cot
V. Rouessac
Jean Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 866472

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02971493 , version 1 (19-10-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02971493 , version 1

Citer

Xavier Pages, Didier Cot, V. Rouessac, Jean Durand. Composition and gas permeation of PECVD membranes inside alumina substrate tubes. ICIM6, Jun 2000, Montpellier, France. ⟨hal-02971493⟩
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