Communication Dans Un Congrès Année : 2007

Line width dependent mobility in high-k a comparative performance study between FUSI and TiN

L. Pantisano
  • Fonction : Auteur
S. Severi
  • Fonction : Auteur
E.San Andres
  • Fonction : Auteur
C. Kerner
  • Fonction : Auteur
T. Hoffman
  • Fonction : Auteur
G. Groeseneken
  • Fonction : Auteur
S. de Gendt
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1050857
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02952258 , version 1 (29-09-2020)

Identifiants

Citer

L. Pantisano, Lionel Trojman, S. Severi, E.San Andres, C. Kerner, et al.. Line width dependent mobility in high-k a comparative performance study between FUSI and TiN. 2007 International Symposium on VLSI Technology, Systems and Applications (VLSI-TSA), Apr 2007, Hsinchu, Japan. pp.1-2, ⟨10.1109/VTSA.2007.378909⟩. ⟨hal-02952258⟩

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