Advanced electrical characterization toward (sub) 1nm EOT HfSiON ¿ hole trapping in PFET and L-dependent effects
M.B. Zahid
,
L. Pantisano
,
R. Degraeve
,
M. Aoulaiche
(1)
,
Lionel Trojman
(2)
,
I. Ferain
(1)
,
E. San Andres
,
G. Groeseneken
,
J.F. Zhang
,
M. Heyns
(1)
,
M. Jurczak
(1)
,
S. de Gendt
(1)
M.B. Zahid
- Fonction : Auteur
L. Pantisano
- Fonction : Auteur
R. Degraeve
- Fonction : Auteur
Lionel Trojman
- Fonction : Auteur
- PersonId : 1276971
- IdHAL : lionel-trojman
- ORCID : 0000-0003-2316-4959
- IdRef : 241071941
E. San Andres
- Fonction : Auteur
G. Groeseneken
- Fonction : Auteur
J.F. Zhang
- Fonction : Auteur