Photoassisted chemical smoothing of AlGaN surface after laser lift-off
Zhongming Zheng
(1)
,
Hao Long
(1)
,
Samuel Matta
(2)
,
Mathieu Leroux
(2)
,
Julien Brault
(3, 2)
,
Leiying Ying
(1)
,
Zhiwei Zheng
(4)
,
Baoping Zhang
(1)
Samuel Matta
- Fonction : Auteur
- PersonId : 992168
Mathieu Leroux
- Fonction : Auteur
- PersonId : 958528
Julien Brault
- Fonction : Auteur
- PersonId : 175069
- IdHAL : julien-brault
- ORCID : 0000-0001-5112-620X
- IdRef : 23411066X