Article Dans Une Revue
Microelectronic Engineering
Année : 1998
Marie-Jose CASANOVE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02918279
Soumis le : jeudi 20 août 2020-11:55:08
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:11
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02918279 , version 1
- DOI : 10.1016/S0167-9317(98)00274-3
Citer
Alain Claverie, Marie-José Casanove. Transmission electron microscopy and related techniques for silicon based materials characterization. Microelectronic Engineering, 1998, 40 (3-4), pp.239-250. ⟨10.1016/S0167-9317(98)00274-3⟩. ⟨hal-02918279⟩
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