Inductively-coupled plasmas in pure Cl<SUB>2</SUB>, O<SUB>2</SUB> and mixtures: measurements of atom, Cl<SUB>x</SUB>O<SUB>y</SUB> and electron densities - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2014

Inductively-coupled plasmas in pure Cl2, O2 and mixtures: measurements of atom, ClxOy and electron densities

Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611331

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:46:50

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611331 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611331 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth. Inductively-coupled plasmas in pure Cl2, O2 and mixtures: measurements of atom, ClxOy and electron densities. Plasma Kinetics Master Class, Oct 2014, Bad Honnef, Germany. 2014. ⟨hal-02611331⟩

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