High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy applied to etching plasmas - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2014

High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy applied to etching plasmas

Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Emile Carbone
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611328

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:46:07

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02611328 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611328 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. High sensitivity ultra-broad-band absorption spectroscopy applied to etching plasmas. ESCAMPIG, Jul 2014, Greifswald, Germany. 2014. ⟨hal-02611328⟩

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