Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl<SUB>2</SUB>, O<SUB>2</SUB> and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densit - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2014

Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2, O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densit

Emile Carbone
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Pascal Chabert
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611327 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611327 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Inductively-coupled plasmas (ICP) of Cl2, O2 and mixtures : measurements of atoms, ClxOy and electron densit. ESCAMPIG, Jul 2014, Greifswald, Germany. 2014. ⟨hal-02611327⟩
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