Poster De Conférence
Année : 2013
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https://hal.science/hal-02611324
Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:45:10
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02611324 , version 1
Citer
Mickaël Foucher, Jean-Paul Booth, B. Pruvost, Pascal Chabert. Dynamique des plasmas radio-fréquences pulsés à couplage inductif en gaz halogénés simples. Journée de l'industrie Plas@par, Nov 2013, Paris, France. 2013. ⟨hal-02611324⟩
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