Dynamique des plasmas radio-fréquences pulsés à couplage inductif en gaz halogénés simples - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2013

Dynamique des plasmas radio-fréquences pulsés à couplage inductif en gaz halogénés simples

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611324 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611324 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Jean-Paul Booth, B. Pruvost, Pascal Chabert. Dynamique des plasmas radio-fréquences pulsés à couplage inductif en gaz halogénés simples. Journée de l'industrie Plas@par, Nov 2013, Paris, France. 2013. ⟨hal-02611324⟩
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