Inductive plasmas in Cl<SUB>2</SUB>/Ar :Comparison of hybrid model results with experimental measurements - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2010

Inductive plasmas in Cl2/Ar :Comparison of hybrid model results with experimental measurements

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Emilie Despiau-Pujo
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Rodolphe Sarot
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611282

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:36:24

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02611282 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611282 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Emilie Despiau-Pujo, Pascal Chabert, Rodolphe Sarot. Inductive plasmas in Cl2/Ar :Comparison of hybrid model results with experimental measurements. AVS Symposium, Oct 2010, Albuquerque, New Mexico, United States. 2010. ⟨hal-02611282⟩

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