Hybrid Model of Parallel Plate RF Discharges in H<SUB>2</SUB>: Effect of DC and Tailored Voltage Waveforms - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Poster De Conférence Année : 2012

Hybrid Model of Parallel Plate RF Discharges in H2: Effect of DC and Tailored Voltage Waveforms

P. Diomede
  • Fonction : Auteur
E.V. Johnson
Jean-Paul Booth
S. Longo
  • Fonction : Auteur
D. J. Economou
  • Fonction : Auteur
M. Capitelli
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611272 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611272 , version 1

Citer

P. Diomede, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, S. Longo, et al.. Hybrid Model of Parallel Plate RF Discharges in H2: Effect of DC and Tailored Voltage Waveforms. ESCAMPIG, Jul 2012, Viana do Costello, Portugal. 2012. ⟨hal-02611272⟩
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