Investigation of Voltage Waveform Tailoring Effect in CapacitivelyCoupled H<SUB>2</SUB> Discharge: Fluid Simulations and Experimental Validation - Archive ouverte HAL
Poster De Conférence Année : 2012

Investigation of Voltage Waveform Tailoring Effect in CapacitivelyCoupled H2 Discharge: Fluid Simulations and Experimental Validation

T. Novikova
  • Fonction : Auteur
E.V. Johnson
CV
M. Mao
  • Fonction : Auteur
P. Bulkin
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
P. Roca I Cabarrocas
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02611270

Soumis le : lundi 18 mai 2020-12:34:20

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02611270 , version 1 (18-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02611270 , version 1

Citer

T. Novikova, E.V. Johnson, M. Mao, P. Bulkin, Jean-Paul Booth, et al.. Investigation of Voltage Waveform Tailoring Effect in CapacitivelyCoupled H2 Discharge: Fluid Simulations and Experimental Validation. EPS Plasma Physics, Jul 2012, Stockholm, Sweden. 2012. ⟨hal-02611270⟩

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