Absorption spectroscopy diagnostics of a dual-frequency capacitive dielectric etch tool using Ultraviolet Light-Emitting Diodes - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2009

Absorption spectroscopy diagnostics of a dual-frequency capacitive dielectric etch tool using Ultraviolet Light-Emitting Diodes

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Jérôme Bredin
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02595165

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:43:23

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Dates et versions

hal-02595165 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02595165 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Jérôme Bredin. Absorption spectroscopy diagnostics of a dual-frequency capacitive dielectric etch tool using Ultraviolet Light-Emitting Diodes. AVS International Symposium, Nov 2009, San Jose, California, United States. ⟨hal-02595165⟩

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