Communication Dans Un Congrès
Année : 2009
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https://hal.science/hal-02595162
Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:43:19
Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:59
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02595162 , version 1
Citer
Jérôme Bredin, Jean-Paul Booth. Absorption spectroscopy diagnostics of a dual-frequency capacitive dielectric etch tool using Ultraviolet Light-Emitting Diodes. Gaseous Electronics Conference, Oct 2009, Saratoga Springs, New York, United States. ⟨hal-02595162⟩
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