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Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Control of Microcrystalline Silicon Deposition by RF Waveform Tailoring

E.V. Johnson
Jean-Paul Booth
J-C Vanel
  • Fonction : Auteur
T. Verbeke
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02595158 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02595158 , version 1

Citer

E.V. Johnson, Jean-Paul Booth, J-C Vanel, T. Verbeke. Control of Microcrystalline Silicon Deposition by RF Waveform Tailoring. Gaseous Electronics Conference, Oct 2010, Paris, France. ⟨hal-02595158⟩
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