Effect of low-frequency power on electron density and ion flux in dual-frequency capacitive radiofrequency discharges - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Effect of low-frequency power on electron density and ion flux in dual-frequency capacitive radiofrequency discharges

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
G. Curley
  • Fonction : Auteur
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:43:14

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Identifiants

  • HAL Id : hal-02595157 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, G. Curley, Pascal Chabert. Effect of low-frequency power on electron density and ion flux in dual-frequency capacitive radiofrequency discharges. PESM, Mar 2010, Grenoble, France. ⟨hal-02595157⟩

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