Gas temperature measurement in Ar and Ar-Cl<SUB>2</SUB> based ICP discharge: Comparison between experiments and simulations - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Gas temperature measurement in Ar and Ar-Cl2 based ICP discharge: Comparison between experiments and simulations

Nishant Sirse
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Quentin Délivré
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02594795

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:14:44

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02594795 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594795 , version 1

Citer

Nishant Sirse, Quentin Délivré, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Gas temperature measurement in Ar and Ar-Cl2 based ICP discharge: Comparison between experiments and simulations. IEEE International Conference on Plasma Science (ICOPS), Jul 2012, Edinburgh, United Kingdom. ⟨hal-02594795⟩

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