Atomic Chlorine absolute densities and surface recombination coefficients in inductively coupled plasmas in Cl<SUB>2</SUB> - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Atomic Chlorine absolute densities and surface recombination coefficients in inductively coupled plasmas in Cl2

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Nishant Sirse
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Yasmina Azamoum
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02594749

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:13:50

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02594749 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594749 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Pascal Chabert. Atomic Chlorine absolute densities and surface recombination coefficients in inductively coupled plasmas in Cl2. AVS, Oct 2011, Nashville, Tennessee, United States. ⟨hal-02594749⟩

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