Tailored Voltage Waveforms for the Deposition of Microcrystalline Silicon - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Tailored Voltage Waveforms for the Deposition of Microcrystalline Silicon

E.V. Johnson
CV
Pierre-Alexandre Delattre
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

LPP Référent-HAL  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02594746

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:13:47

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02594746 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594746 , version 1

Citer

E.V. Johnson, Pierre-Alexandre Delattre, Jean-Paul Booth. Tailored Voltage Waveforms for the Deposition of Microcrystalline Silicon. ICANS, Aug 2011, Nara, Japan. ⟨hal-02594746⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

OBSPM X CNRS X-DEP-PHYS PSL UNIV-PARIS-SACLAY SORBONNE-UNIVERSITE SU-SCIENCES X-LPP LABORATOIRE-DE-PHYSIQUE-DES-PLASMAS-LPP LPP-PLASMAS-FROIDS GS-PHYSIQUE
19 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More