Recombination coefficients of Cl atoms on Al<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB> walls determined by TALIF - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Recombination coefficients of Cl atoms on Al2O3 walls determined by TALIF

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Nishant Sirse
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Yasmina Azamoum
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Mujahid Zaka-Ul-Islam
  • Fonction : Auteur
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02594744

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:13:45

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02594744 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594744 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Mujahid Zaka-Ul-Islam, Pascal Chabert. Recombination coefficients of Cl atoms on Al2O3 walls determined by TALIF. Plasma Etch and Strip for Microelectronics (PESM), May 2011, Mechelen, Belgium. ⟨hal-02594744⟩

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