Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
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https://hal.science/hal-02594744
Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:13:45
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02594744 , version 1
Citer
Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Yasmina Azamoum, Mujahid Zaka-Ul-Islam, Pascal Chabert. Recombination coefficients of Cl atoms on Al2O3 walls determined by TALIF. Plasma Etch and Strip for Microelectronics (PESM), May 2011, Mechelen, Belgium. ⟨hal-02594744⟩
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