Planar Langmuir probe in pulsing regime - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Planar Langmuir probe in pulsing regime

V. Samara
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
J.-F. de Marneffe
  • Fonction : Auteur
W. Boullart
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02594742

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-19:13:42

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02594742 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594742 , version 1

Citer

V. Samara, Jean-Paul Booth, J.-F. de Marneffe, W. Boullart. Planar Langmuir probe in pulsing regime. PESM (Plasma Etch and Strip for Microelectronics), May 2011, Mechelen, Belgium. ⟨hal-02594742⟩

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