Plasma characteristics in non-sinusoidally excited CCP discharges - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Plasma characteristics in non-sinusoidally excited CCP discharges

Trevor Lafleur
Jean-Paul Booth
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02594733 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02594733 , version 1

Citer

Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth. Plasma characteristics in non-sinusoidally excited CCP discharges. GEC, Oct 2012, Austin, Texas, United States. ⟨hal-02594733⟩
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