The importance of surface interaction probabilities in low pressure plasma simulations for process design - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

The importance of surface interaction probabilities in low pressure plasma simulations for process design

Andrew Gibson
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
T. Gans
  • Fonction : Auteur
V. Guerra
  • Fonction : Auteur
M.J. Kushner
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02593686

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:42

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02593686 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593686 , version 1

Citer

Andrew Gibson, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, T. Gans, et al.. The importance of surface interaction probabilities in low pressure plasma simulations for process design. PESM (Plasma Etch and Strip for Microelectronics), May 2016, Grenoble, France. ⟨hal-02593686⟩

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