ELECTRON POWER ABSORPTION DYNAMICS AND ION ENERGY DISTRIBUTIONS IN CAPACITIVE DISCHARGES DRIVEN BY CUSTOMIZED VOLTAGE WAVEFORMS IN ARGON AND CF<SUB>4</SUB> - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

ELECTRON POWER ABSORPTION DYNAMICS AND ION ENERGY DISTRIBUTIONS IN CAPACITIVE DISCHARGES DRIVEN BY CUSTOMIZED VOLTAGE WAVEFORMS IN ARGON AND CF4

B. Berger
  • Fonction : Auteur
S. Brandt
  • Fonction : Auteur
J. Franek
  • Fonction : Auteur
E. Shuengel
  • Fonction : Auteur
M. Koepke
  • Fonction : Auteur
J. Schulze
  • Fonction : Auteur
T. Mussenbrock
  • Fonction : Auteur
Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
E.V. Johnson
CV
Trevor Lafleur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur
T. Gans
  • Fonction : Auteur
Ihor Korolov
  • Fonction : Auteur
A. Derzsi
  • Fonction : Auteur
Dept. of Physics
Research Institute for Solid State Physics and Optics [Budapest]
Z. Donkó
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

LPP Référent-HAL  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02593683

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:40

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02593683 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593683 , version 1

Citer

B. Berger, S. Brandt, J. Franek, E. Shuengel, M. Koepke, et al.. ELECTRON POWER ABSORPTION DYNAMICS AND ION ENERGY DISTRIBUTIONS IN CAPACITIVE DISCHARGES DRIVEN BY CUSTOMIZED VOLTAGE WAVEFORMS IN ARGON AND CF4. IEEE-ICOPS, Jun 2016, Banff, Canada. ⟨hal-02593683⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

OBSPM X CNRS X-DEP-PHYS PSL UNIV-PARIS-SACLAY SORBONNE-UNIVERSITE SU-SCIENCES X-LPP LABORATOIRE-DE-PHYSIQUE-DES-PLASMAS-LPP LPP-PLASMAS-FROIDS GS-PHYSIQUE INSTITUT-SCIENCES-LUMIERE
23 Consultations
0 Téléchargements

Partager

More