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Communication Dans Un Congrès Année : 2016

ELECTRON POWER ABSORPTION DYNAMICS AND ION ENERGY DISTRIBUTIONS IN CAPACITIVE DISCHARGES DRIVEN BY CUSTOMIZED VOLTAGE WAVEFORMS IN ARGON AND CF4

B. Berger
  • Fonction : Auteur
S. Brandt
  • Fonction : Auteur
J. Franek
  • Fonction : Auteur
E. Shuengel
  • Fonction : Auteur
M. Koepke
  • Fonction : Auteur
J. Schulze
  • Fonction : Auteur
T. Mussenbrock
  • Fonction : Auteur
Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
E.V. Johnson
Trevor Lafleur
Jean-Paul Booth
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur
T. Gans
  • Fonction : Auteur
Ihor Korolov
  • Fonction : Auteur
Z. Donkó
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02593683 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593683 , version 1

Citer

B. Berger, S. Brandt, J. Franek, E. Shuengel, M. Koepke, et al.. ELECTRON POWER ABSORPTION DYNAMICS AND ION ENERGY DISTRIBUTIONS IN CAPACITIVE DISCHARGES DRIVEN BY CUSTOMIZED VOLTAGE WAVEFORMS IN ARGON AND CF4. IEEE-ICOPS, Jun 2016, Banff, Canada. ⟨hal-02593683⟩
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