Density and temperature measurements in ICP's of Cl<SUB>2</SUB>/O<SUB>2</SUB> using high sensitivity ultra broad-band absorption spectroscopy - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Density and temperature measurements in ICP's of Cl2/O2 using high sensitivity ultra broad-band absorption spectroscopy

Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Emile Carbone
  • Fonction : Auteur
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:35

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02593678 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593678 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Pascal Chabert, Jean-Paul Booth. Density and temperature measurements in ICP's of Cl2/O2 using high sensitivity ultra broad-band absorption spectroscopy. International Symposium on Plasma Chemistry, Jul 2015, Anvers, Belgium. ⟨hal-02593678⟩

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