Communication Dans Un Congrès
Année : 2014
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https://hal.science/hal-02593674
Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:31
Dernière modification le : vendredi 19 avril 2024-16:18:59
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02593674 , version 1
Citer
Bastien Bruneau, T. Novikova, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth, Erik Johnson. Control over the ion flux obtained by sawtooth-like waveforms in radiofrequency capacitively coupled plasmas. AVS Annual Symposium, Nov 2014, Baltimore, Maryland, United States. ⟨hal-02593674⟩
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