Modelling the influence of neutral gas heating mechanisms on particle densities in inductively coupled chlorine discharges - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Modelling the influence of neutral gas heating mechanisms on particle densities in inductively coupled chlorine discharges

Andrew Gibson
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
T. Gans
  • Fonction : Auteur
Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
M.J. Kushner
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02593670

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:28

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02593670 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593670 , version 1

Citer

Andrew Gibson, T. Gans, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, et al.. Modelling the influence of neutral gas heating mechanisms on particle densities in inductively coupled chlorine discharges. Gaseous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States. ⟨hal-02593670⟩

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