Vibrational kinetics in Cl<SUB>2</SUB> and O<SUB>2</SUB> low-pressure inductively-coupled plasmas - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Vibrational kinetics in Cl2 and O2 low-pressure inductively-coupled plasmas

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Adriana Annusova
  • Fonction : Auteur
V. Guerra
  • Fonction : Auteur
Ankur Agarwal
  • Fonction : Auteur
S. Rauf
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02593669

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:27

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02593669 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593669 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Pascal Chabert, Adriana Annusova, et al.. Vibrational kinetics in Cl2 and O2 low-pressure inductively-coupled plasmas. Gaseous Electronics Conference, Oct 2015, Honolulu, United States. ⟨hal-02593669⟩

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