Communication Dans Un Congrès
Année : 2015
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https://hal.science/hal-02593661
Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:21
Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02593661 , version 1
Citer
Bastien Bruneau, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Trevor Lafleur, et al.. Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas. Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Apr 2015, Louvain, Belgium. ⟨hal-02593661⟩
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