Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas

Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
T. Gans
  • Fonction : Auteur
D. O'Connell
  • Fonction : Auteur
Arthur Greb
  • Fonction : Auteur
Trevor Lafleur
Erik Johnson
Jean-Paul Booth
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02593661 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593661 , version 1

Citer

Bastien Bruneau, T. Gans, D. O'Connell, Arthur Greb, Trevor Lafleur, et al.. Ion flux asymmetry obtained by sawtooth-like waveforms: A new degree of freedom in capacitively coupled plasmas. Plasma Etch and Strip in Microelectronics (PESM), Apr 2015, Louvain, Belgium. ⟨hal-02593661⟩
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