Diagnostics of Cl<SUB>2</SUB>/O<SUB>2</SUB> Inductively-Coupled Plasmas by Ultra-High sensitivity Broad-Band Absorption Spectroscopy - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2014

Diagnostics of Cl2/O2 Inductively-Coupled Plasmas by Ultra-High sensitivity Broad-Band Absorption Spectroscopy

Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Emile Carbone
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02593659

Soumis le : vendredi 15 mai 2020-17:33:20

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02593659 , version 1 (15-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02593659 , version 1

Citer

Mickaël Foucher, Daniil Marinov, Emile Carbone, Jean-Paul Booth, Pascal Chabert. Diagnostics of Cl2/O2 Inductively-Coupled Plasmas by Ultra-High sensitivity Broad-Band Absorption Spectroscopy. AVS, Nov 2014, Baltimore, Maryland, United States. ⟨hal-02593659⟩

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