Plasma deposition—Impact of ions in plasma enhanced chemical vapor deposition, plasma enhanced atomic layer deposition, and applications to area selective deposition
Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Soumis le : lundi 4 janvier 2021-14:18:23
Dernière modification le : mardi 28 mai 2024-10:46:16
Archivage à long terme le : lundi 5 avril 2021-20:13:08