Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2017

Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Abhyuday Chatterjee
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Olivier Guaitella
Laboratoire de Physique des Plasmas
Ana-Sofia Morillo-Candas
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Cyril Drag
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Dmitry Lopaev
  • Fonction : Auteur
Sergey Zyryanov
  • Fonction : Auteur
N. de Oliveira
  • Fonction : Auteur
Laurent Nahon

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02573372

Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:09:47

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02573372 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573372 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Abhyuday Chatterjee, Olivier Guaitella, Ana-Sofia Morillo-Candas, Cyril Drag, et al.. Kinetics of atoms and metastable molecules in oxygen plasmas revisited: an experimental study. 10th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing, Dec 2017, Okinawa, Japan. ⟨hal-02573372⟩

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