Inductively-coupled plasmas in Cl<SUB>2</SUB> and O<SUB>2</SUB>: Comparing HPEM with advanced diagnostic measurements - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

Inductively-coupled plasmas in Cl2 and O2: Comparing HPEM with advanced diagnostic measurements

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Mickaël Foucher
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Andrew Gibson
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Daniil Marinov
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Nishant Sirse
  • Fonction : Auteur
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
M.J. Kushner
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02573341

Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:09:06

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02573341 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573341 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Mickaël Foucher, Andrew Gibson, Daniil Marinov, Nishant Sirse, et al.. Inductively-coupled plasmas in Cl2 and O2: Comparing HPEM with advanced diagnostic measurements. Quantumol Workshop -Linking Simulation with Experiment, Sep 2015, London, United Kingdom. ⟨hal-02573341⟩

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