Electron heating in capacitively coupled plasmas revisited: single and multi-frequency discharges - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Electron heating in capacitively coupled plasmas revisited: single and multi-frequency discharges

Trevor Lafleur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Miles Turner
  • Fonction : Auteur
Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02573333

Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:08:55

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Dates et versions

hal-02573333 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573333 , version 1

Citer

Trevor Lafleur, Pascal Chabert, Miles Turner, Jean-Paul Booth. Electron heating in capacitively coupled plasmas revisited: single and multi-frequency discharges. Gaseous Electronics Conference, Oct 2013, Princeton, New Jersey, United States. ⟨hal-02573333⟩

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