Capacitively coupled plasmas excited by tailored voltage waveforms - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Capacitively coupled plasmas excited by tailored voltage waveforms

Trevor Lafleur
E.V. Johnson
Jean-Paul Booth
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02573294 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573294 , version 1

Citer

Trevor Lafleur, Pierre-Alexandre Delattre, E.V. Johnson, Jean-Paul Booth. Capacitively coupled plasmas excited by tailored voltage waveforms. EPS Plasma, Jul 2013, Espoo, Finland. ⟨hal-02573294⟩
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