Inductively-coupled plasmas in pure chlorine: comparison of atom density, electron density and gas temperature measurements with the HPEM hybrid model. - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Inductively-coupled plasmas in pure chlorine: comparison of atom density, electron density and gas temperature measurements with the HPEM hybrid model.

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Nishant Sirse
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
B. Pruvost
  • Fonction : Auteur
M.J. Kushner
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02573293

Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:08:05

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02573293 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573293 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, B. Pruvost, M.J. Kushner. Inductively-coupled plasmas in pure chlorine: comparison of atom density, electron density and gas temperature measurements with the HPEM hybrid model.. RF Plasma workshop, May 2013, Presqu ile de Giens, France. ⟨hal-02573293⟩

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