Thin Film Deposition with Tailored Voltage Waveforms: Material Questions and Practical Answers - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Thin Film Deposition with Tailored Voltage Waveforms: Material Questions and Practical Answers

E.V. Johnson
Bastien Bruneau
  • Fonction : Auteur
Trevor Lafleur
Jean-Paul Booth
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02573291 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573291 , version 1

Citer

E.V. Johnson, Bastien Bruneau, Pierre-Alexandre Delattre, Trevor Lafleur, Jean-Paul Booth. Thin Film Deposition with Tailored Voltage Waveforms: Material Questions and Practical Answers. RF Plasma workshop, May 2013, Presqu île de Giens, France. ⟨hal-02573291⟩
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