Dynamics of Cl<SUB>2</SUB> inductively-coupled plasmas: Role of electronic and vibrational excitation - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Dynamics of Cl2 inductively-coupled plasmas: Role of electronic and vibrational excitation

Jean-Paul Booth
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
Nishant Sirse
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de Physique des Plasmas
Pascal Chabert
Laboratoire de Physique des Plasmas
CV
P. Indelicato
A. Surzhykov
  • Fonction : Auteur
M.J. Kushner
  • Fonction : Auteur

Domaines

Physique des plasmas [physics.plasm-ph]

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https://hal.science/hal-02573290

Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:08:01

Dernière modification le : jeudi 1 août 2024-13:48:06

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Dates et versions

hal-02573290 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573290 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, P. Indelicato, A. Surzhykov, et al.. Dynamics of Cl2 inductively-coupled plasmas: Role of electronic and vibrational excitation. FLTPD, Apr 2013, Rolduc, Netherlands. ⟨hal-02573290⟩

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