Dynamics of Cl<SUB>2</SUB> inductively-coupled plasmas: Role of electronic and vibrational excitation - Archive ouverte HAL Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2013

Dynamics of Cl2 inductively-coupled plasmas: Role of electronic and vibrational excitation

Jean-Paul Booth
Pascal Chabert
P. Indelicato
A. Surzhykov
  • Fonction : Auteur
M.J. Kushner
  • Fonction : Auteur
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02573290 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573290 , version 1

Citer

Jean-Paul Booth, Nishant Sirse, Pascal Chabert, P. Indelicato, A. Surzhykov, et al.. Dynamics of Cl2 inductively-coupled plasmas: Role of electronic and vibrational excitation. FLTPD, Apr 2013, Rolduc, Netherlands. ⟨hal-02573290⟩
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