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Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Physics of low pressure radio-frequency plasmas

Pascal Chabert

Résumé

http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/IC-2012
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02573286 , version 1 (14-05-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02573286 , version 1

Citer

Pascal Chabert. Physics of low pressure radio-frequency plasmas. International Conference on Plasma and Nanotechnology (ICPLANTS), Mar 2012, Inuyama, Japan. ⟨hal-02573286⟩
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