Physics of low pressure radio-frequency plasmas
Résumé
http://www.plasma.engg.nagoya-u.ac.jp/IC-2012
LPP Référent-HAL : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-02573286
Soumis le : jeudi 14 mai 2020-12:07:54
Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:53:16