Optimization of the manufacturing process of macro and nano structures for power modules' interconnection - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2019

Optimization of the manufacturing process of macro and nano structures for power modules' interconnection

Résumé

This research aims at the development of a full direct copper interconnection for power modules. The focus lies on the optimization of the manufacturing process of this interconnection via electrodeposition. Particular attention is given to the current profile's parameters to get high quality copper shapes.

Domaines

Energie électrique Micro et nanotechnologies/Microélectronique
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Thomas Dias  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02506174

Soumis le : jeudi 12 mars 2020-10:51:19

Dernière modification le : jeudi 7 novembre 2024-10:03:38

Archivage à long terme le : samedi 13 juin 2020-14:00:32

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Dates et versions

hal-02506174 , version 1 (12-03-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02506174 , version 1

Citer

Thomas Dias, Bojan Djuric, Vincent Bley, Olivier Dagut, Julien Morand, et al.. Optimization of the manufacturing process of macro and nano structures for power modules' interconnection. IMAPS, POWER 2019, Nov 2019, Tours, France. ⟨hal-02506174⟩

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