New simulation method for Deep Trench Termination diode (DT<sup>2</sup>) using mixed-mode TCAD sentaurus - Archive ouverte HAL
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

New simulation method for Deep Trench Termination diode (DT2) using mixed-mode TCAD sentaurus

F. Baccar
  • Fonction : Auteur
H. Arbess
  • Fonction : Auteur
L. Theolier
E. Woirgard
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 841231
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02500152 , version 1 (05-03-2020)

Identifiants

Citer

F. Baccar, H. Arbess, L. Theolier, S. Azzopardi, E. Woirgard. New simulation method for Deep Trench Termination diode (DT2) using mixed-mode TCAD sentaurus. 2015 16th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE), Apr 2015, Budapest, Hungary. pp.1-5, ⟨10.1109/EuroSimE.2015.7103122⟩. ⟨hal-02500152⟩
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