Low-temperature deposition of nanocrystalline diamond films on silicon nitride substrates using distributed antenna array PECVD system - Archive ouverte HAL
Article Dans Une Revue Physica Status Solidi A (applications and materials science) Année : 2016

Low-temperature deposition of nanocrystalline diamond films on silicon nitride substrates using distributed antenna array PECVD system

Domaines

Sciences de l'ingénieur [physics] Génie des procédés Matériaux

Jocelyn ACHARD  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02492710

Soumis le : jeudi 27 février 2020-11:36:50

Dernière modification le : jeudi 28 novembre 2024-10:49:53

Consulter sur la plateforme ISTEX

Dates et versions

hal-02492710 , version 1 (27-02-2020)

Identifiants

Citer

Benoit Baudrillart, Fabien Benedic, Amel Melouani, Filipe T. Oliveira, Rui Silva, et al.. Low-temperature deposition of nanocrystalline diamond films on silicon nitride substrates using distributed antenna array PECVD system. Physica Status Solidi A (applications and materials science), 2016, 213 (10), pp.2575-2581. ⟨10.1002/pssa.201600221⟩. ⟨hal-02492710⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNIV-PARIS13 CNRS OCA LSPM_P13 USPC GALILE SORBONNE-PARIS-NORD ACT-R
46 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More