Single mask fabrication process of vacuum microelectronics components and preliminary characterization results - Archive ouverte HAL

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Communication Dans Un Congrès Année : 2005

Single mask fabrication process of vacuum microelectronics components and preliminary characterization results

(1) , (1) , (1) , (2)

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2

A. Phommahaxay

Fonction : Auteur
PersonId : 844521

Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes

Gaelle Bazin Lissorgues

Fonction : Auteur
PersonId : 18822
IdHAL : gaelle-lissorgues
ORCID : 0000-0003-3371-8353
IdRef : 085634492

Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes

Tarik Bourouina

Fonction : Auteur
PersonId : 18824
IdHAL : tarik-bourouina
ORCID : 0000-0003-2342-7149
IdRef : 110802160

Electronique, Systèmes de communication et Microsystèmes

P. Nicole

Fonction : Auteur

THALES Airborne Systems [Elancourt]

Domaines

Electromagnétisme Matériaux Micro et nanotechnologies/Microélectronique Electronique Biomatériaux

Gaelle Lissorgues : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-02440267

Soumis le : mercredi 15 janvier 2020-10:03:14

Dernière modification le : vendredi 19 juillet 2024-11:38:04

Dates et versions

hal-02440267 , version 1 (15-01-2020)

Identifiants

HAL Id : hal-02440267 , version 1
DOI : 10.1109/IVNC.2005.1619639

Citer

A. Phommahaxay, Gaelle Bazin Lissorgues, Tarik Bourouina, P. Nicole. Single mask fabrication process of vacuum microelectronics components and preliminary characterization results. Technical Digest of the 18th International Vacuum Nanoelectronics Conference, 2005, Oxford, United Kingdom. pp.368-369, ⟨10.1109/IVNC.2005.1619639⟩. ⟨hal-02440267⟩

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