Développement d'une source optique intégrée émettant dans le moyen infra-rouge à partir de verres de chalcogénure dopés par des ions de terres rares
Résumé
Cet article présente des résultats de photoluminescence (PL) guidée dans le moyen-infrarouge (2-5 µm) obtenus à partir de guides d’onde intégrés en verres de chalcogénure dopés par des ions Pr 3+ . La fabrication de verres de chalcogénures, leur dépôt par pulvérisation cathodique radiofréquence magnétron ainsi que leur mise en forme de guides d’onde ruban par photolithographie et gravure sèche sont également décrits. Des spectres de PL guidée large bande dans le moyen-infrarouge sont enregistrés pour la première fois pour des longueurs d’onde supérieures à 4 µm pour des guides incorporant des ions de terre rare.