3D patterning of Si by contact etchning: contribution of the band bending modeling
Sylvain Le Gall
(1)
,
Raphaël Lachaume
(1)
,
Encarnacion Torralba
(2)
,
Christine Cachet-Vivier
(2)
,
Stéphane Bastide
(2)
,
Mathieu Halbwax
(3, 4)
,
Vincent Magnin
(3, 4)
,
Joseph Harari
(3, 4)
,
Jean-Pierre Vilcot
(3)
Sylvain Le Gall
- Fonction : Auteur
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Raphaël Lachaume
- Fonction : Auteur
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Encarnacion Torralba
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Christine Cachet-Vivier
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Stéphane Bastide
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Mathieu Halbwax
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Vincent Magnin
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Joseph Harari
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Jean-Pierre Vilcot
- Fonction : Auteur
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