Ti nitrides and Ti silicides simutaneous growth in thinfilms - Archive ouverte HAL
Autre Publication Scientifique Année : 2019

Ti nitrides and Ti silicides simutaneous growth in thinfilms

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02401560 , version 1 (10-12-2019)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02401560 , version 1

Citer

Isabelle Jauberteau. Ti nitrides and Ti silicides simutaneous growth in thinfilms. 2019. ⟨hal-02401560⟩
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