Capteur optique intégré à effet Vernier en polymères
Résumé
Un biocapteur optique intégré à effet Vernier à base de matériaux polymères SU8/PMATRIFE ultrasensible est réalisé en utilisant un procédé photolithographique standard. Le capteur est basé sur un interféromètre Mach-Zehnder avec un micro-résonateur intégré sur chacun des deux bras. Les performances du transducteur sont ensuite caractérisées et la limite de détection est estimée par la méthode de Monte-Carlo et les incertitudes liées au système de mesure. Une sensibilité du capteur de 17558 nm/RIU a été mesurée et la limite de détection a été estimée à 4,6.10-7 RIU.
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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